HA400/900

HA400/900

·实现1秒40次的超高速反馈控制！  

·精度±０.１％、可添加2通道控制处理、多存储功能（通过利用设定变化率限幅器、区域链接、渗透时间实现简易程序控制功能）、级联控制功能、功率前馈功能、2系统通信接口等等各种功能。  

·最适合用于半导体制造过程中RTP(Rapid Thermal Process：急速加热处理)操作。